光滑、半光亮、均匀的延展性沉积物

 

为了响应欧盟和特定客户对硼酸的监管限制，麦德美爱法推出了 MICROFAB EVF NiBAR，这是一种用于半导体应用的无硼酸氨基磺酸镍电镀工艺。

MICROFAB EVF NiBAR 解决了欧盟和地区对硼酸的 EHS 问题，同时提供了一流的性能。它具有专有的缓冲系统，可确保扩散层 pH 值稳定性和相当于硼酸的缓冲能力。新的缓冲系统适用于（允许）较宽的电流密度范围，并产生适用于扩散屏障和UBM 应用的纯净、细粒度、延展性镍沉积物。

 

快速且由下而上的新世代填充性能

 

在150ºC 下 经历了长达1000 小时的10 次回流后

仍保持着优异的阻隔性能

 

主要特色

• 纯净的, 具延展性的细粒沉积
• 优秀的 pH 稳定性和缓冲功能
• 优异的阻隔性能
• 具备过孔填充能力
• 可调性沉积应力
• 耐低温 (40ºC)
• 适用于大范围电流密度
• 即用型晶圆电镀

 

来源：MacDermid Alpha

 

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